原子荧光光谱分析法是20世纪六十年代中期以后发展起来的一种新的痕量分析方法。原子蒸气受到具有特征波长的光源照射后，其中一些自由原子被激发跃迁到较高能态，然后活回到某一较低能态（常常是基态）而发射出的特征光谱叫做原子荧光。各种元素都有其特定的原子荧光光谱，根据原子荧光强度的高低可测得试样中待测元素的含量，这就是原子荧光光谱仪分析（AFS）。
根据Beer-Lambert’s Law和泰勒级数展开，可得：在实验条件固定，原子化效率固定时，原子荧光强度If 和低浓度的试样的浓度C成正比。即：
If=αC （α为常数）
HG-AFS是基于以下反应将分析元素转化为室温下的气态氢化物：
NaBH4 + 3H2O + HCl == H3BO3 + NaCl + 8H+
（2+n）H+ + Em+ == EHn + H2
式中的Em+ 是指可以形成氢化物元素的离子，如铅、砷、锑、铋、硒、碲、锡、锗等，另外汞可以形成气态原子汞，镉和锌可生成气态组分，均可以用本方法分析。生成的氢化物被引入特殊设计的石英炉中，在此被原子化，然后受光源激发产生原子荧光。